塵埃粒子計數(shù)器是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它廣泛應(yīng)用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。
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一. 校正所需設(shè)備
1. 100級潔凈房或潔凈臺
2. 一臺用于作對比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器,如Royco323
3. 各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子,如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4. 標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器,如Model 255
5. 產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類似裝置
6. 其它普通電器,如220V電源插座,萬用表等等
二. 校正的基本原理
標(biāo)準(zhǔn)粒子(如0.301um)通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器,一要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。
三. 校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正
1. 先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
2. 先,請將潔凈臺開機,工作半小時,其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時。
3. 準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4. 將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
5. 設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時間都設(shè)置為00:01:00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時間都設(shè)置為00:00:05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。
6. 此時,打開255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計約60SCFH時后,保持其工作狀態(tài)。
7. 此時,讓Royco 323和Royco HH200同時工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以內(nèi),視為合格。
8. 拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測試。
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