新品介紹:晶圓表面用二氧化硅納米粒子
產(chǎn)品名稱:
SiO2微粒子標準溶液
納米級別二氧化硅
SiO2標準粒子
晶圓表面用二氧化硅
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液,微粒子尺寸從18nm到200nm都選擇,是市面上理想、質(zhì)量較高的校正標準,適用于新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。
先進的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正,但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷,當UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上,將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)的質(zhì)量,因此SiO2微粒子是較好的替代產(chǎn)品。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有的SiO2合成技術(shù),以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布,從目前小的微粒子尺寸來看,NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸均勻,適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產(chǎn)品,加上ISO 9000與SEMI的認證,讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴,讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限,而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
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