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新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子的介紹

更新時(shí)間:2022-08-11      點(diǎn)擊次數(shù):1154

新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子的介紹

                                                                      Nanosilica-with-particle-sample.jpg



 

產(chǎn)品名稱:

SiO2微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液

納米級(jí)別二氧化硅

SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子

晶圓表面用二氧化硅

 

納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)

 

MSP Corporation  NanoSilica™Size Standards  SiO2顆粒的濃縮水懸浮液,具有高度均勻的尺寸分布。

這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15  200 nm,非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。

 

雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)提供了結(jié)果,但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)。

特征

極其均勻的尺寸分布

我們的納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)采用獲得** SiO2合成工藝開發(fā),其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。

使用 SI 可追溯性測量的峰直徑

允許產(chǎn)量提高和計(jì)量小組根據(jù) ISO 9000 標(biāo)準(zhǔn)和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。

受到強(qiáng)烈 DUV 輻射時(shí)穩(wěn)定

MSP  SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時(shí)不會(huì)降解,這與 PSL 球體不同,PSL 球體的尺寸會(huì)減小。

易于使用

NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供,以便在您的應(yīng)用中混合具有適當(dāng)數(shù)量濃度的懸浮液時(shí)使用方便。

高粒子濃度

一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)最高的之一。

 

輕松辨別模態(tài)(峰值)直徑

避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導(dǎo)致的差異

制備適用于效率相對(duì)較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液

為***的檢測工具創(chuàng)建持久的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

消耗更少的材料;存錢

隨附校準(zhǔn)和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數(shù)據(jù)表 (SDS)

 

 

型號(hào)

 

目錄編號(hào)

標(biāo)稱粒徑 [nm]

認(rèn)證1峰值直徑 [nm]

大約

Size Dist. Width, RFWHM2

 

1044

NS-0015A

15

14-16

13%

1046

NS-0018A

18

17-19

12%

1047

NS-0020A

20

19-21

11%

1048

NS-0024A

24

23-25

10%

1075

NS-0027A

27

26-28

9%

1049

NS-0030A

30

29-31

8%

1079

NS-0032A

32

31-33

7%

1062

NS-0035A

35

34-36

7%

1076

NS-0037A

37

36-38

6%

1051

NS-0040A

40

39-41

6%

1063

NS-0045A

45

44-46

5%

1052

NS-0050A

50

49-51

5%

1077

NS-0055A

55

53-57

5%

1053

NS-0060A

60

58-62

4%

1067

NS-0064A

64

62-66

4%

1054

NS-0070A

70

68-72

4%

1068

NS-0074A

74

72-76

4%

1055

NS-0080A

80

78-82

4%

1069

NS-0084A

84

82-86

4%

1057

NS-0090A

90

88-92

4%

1070

NS-0094A

94

92-96

4%

1058

NS-0100A

100

98-102

4%

1071

NS-0104A

104

102-106

4%

1059

NS-0125A

125

120-130

4%

1060

NS-0150A

150

145-155

4%

1061

NS-0200A

200

190-210

4%

1給定目錄號(hào)的認(rèn)證直徑將在規(guī)定范圍內(nèi)提供。

2相對(duì)半高寬(半高全寬); FWHM 除以模態(tài)直徑。

 

規(guī)格

粒子組成

無定形SiO2

粒子密度

1.9 /3

折射率

633納米時(shí)為1.41

體積

專注

每毫升 1013 1015顆粒

截止日期

≥ 24 個(gè)

 

添加劑

乙醇(按質(zhì)量計(jì) 5-20%

有機(jī)穩(wěn)定劑(<0.1% 質(zhì)量

 

儲(chǔ)存和處理

在室溫下儲(chǔ)存(參見校準(zhǔn)和可追溯性證書

更多詳情。

 

1659872104127.png

 

 

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液,微粒子尺寸從18nm200nm都可選擇,是市面上***、高質(zhì)量的校正標(biāo)準(zhǔn),適用于最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。

***的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正,但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷,當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上,將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量由于SiO2微粒子在DUVEUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量,因此SiO2微粒子是不錯(cuò)的替代產(chǎn)品。

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有**SiO2合成技術(shù),可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布,從目前最小的微粒子尺寸來看,NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸最均勻,適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品,加上ISO 9000SEMI的認(rèn)證,讓良率提升及表面檢查和缺陷評(píng)估有所依據(jù)。

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴定,讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號(hào)、生產(chǎn)編號(hào)、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限,而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUVEUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量
高濃縮度微粒子懸浮溶液

產(chǎn)品效益
易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給先進(jìn)的檢測設(shè)備使用
省錢而且耗用量少

 

 

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