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Duke杜克SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒|聚苯乙烯乳膠粒子

簡(jiǎn)要描述:Duke SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒:SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2020-06-16
  • 訪  問(wèn)  量:3587

詳細(xì)介紹

 

Duke SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒

 

NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn),用于需要高度視覺(jué)反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測(cè)和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則,微粒粒徑縱貫0.0473.0微米的范圍,覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過(guò)將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對(duì)掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo),并與其它的掃描儀進(jìn)行對(duì)比。用戶還以對(duì)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評(píng)估。產(chǎn)品包裝為50ml,微粒分散于超凈過(guò)濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動(dòng)粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。

 

尺度測(cè)量方法學(xué):

為了確保與NIST的直接溯源性,產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過(guò)電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測(cè)量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法(1994年版“NIST測(cè)量結(jié)果不確性評(píng)估指導(dǎo)方案”計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴(kuò)大性不確因素,覆蓋因子數(shù)為2 (K=2)。

 

微粒組成

聚苯乙烯

微粒密度

1.05g/cm3

微粒數(shù)量

3 x 108 or 1010/毫升

包裝規(guī)格

50ml瓶裝,每盒6

微粒折射率

1.59 @ 589 nm (25

添加劑

無(wú)

產(chǎn)品保質(zhì)期

2

存儲(chǔ)條件

冰箱儲(chǔ)藏冰點(diǎn)以上防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染

包裝內(nèi)容

標(biāo)與溯源證書(shū)、粒子計(jì)數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表(MSDS)



 

 

 

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